ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Значительное влияние на процесс травления оказывает температура. Кажущаяся энергия активации процесса травления, определенная по скорости газовыделения, колеблется от 80 до 210 кДж/моль [39]. Обычно сополимеры стирола травят при 50—60°С, но иногда при комнатной или повышенной температуре (80—90°С). С повышением температуры изменяется характер травления и быстрее наступает перетравливание. [Выходные данные]