ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Из приведенных данных следует, что отжиг в вакууме в большинстве случаев увеличивает адгезионное взаимодействие. Только в одном случае, а именно, для пленок молибдена толщиной 60 нм при температуре отжига 600 °С адгезионная прочность остается такой же, какой она была без отжига — 0,35 Н [210]. Общая тенденция заключается в росте адгезионной прочности, точнее, максимального усилия нагрузки с увеличением толщины пленки. (Заметим, что метод царапания не дает возможности оценить истинное значение адгезионной прочности.) Наименьшее значение усилия Р наблюдается при температуре отжига 600 °С. Зависимости, подобные приведенным в табл. У,7, получены при адгезии пленок молибдена и ванадия к поверхности А1аОз. [Выходные данные]