ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Результаты экспериментов по влиянию различных режимов травления фольги из тантала, ниобия и сплава Та—МЬ перед оксидированием на величину диэлектрических свойств оксидной пленки даны в табл. 3. Поскольку для определения диэлектрических свойств применяли единый стандартный образец с рабочей площадью 10 см , то величину площади при дальнейшем изложении будем опускать и размерность диэлектрических свойств, зависящих от площадки (ток утечки и емкость), будем выражать соответственно только в микроамперах и микрофарадах. Величины диэлектрических свойств, указанных в табл. 3, брали средними из 5—10 измерений (образцов). [Выходные данные]