ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Рост очень тонких окисных пленок на металлах при низких температурах (на меди в кислороде при температуре до 100° С, на тантале при температуре до 150° С, на алюминии, никеле и цинке при температуре до 300° С и др.) сопровождается самоторможением в большей степени, чем при обычном диффузионном механизме и контроле процесса. Этим случаям соответствует логарифмический закон роста пленки: [Выходные данные]