ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы в фазовых сдвигах, создаваемых соответственно покрытием и основным металлом, может явиться причиной погрешности. Обычно эти различия незначительны до отношению к толщине покрытия, особенно для толстослойных покрытий, и их можно устранить, применяя очень тонкое отражающее покрытие одним из металлов, осаждаемым в вакууме на покрытии и основном слое до проведения измерений. Благодаря этому и применению многолучевой техники можно добиться точности свыше ±0,01 мкм. Данный метод обеспечивает такие же преимущества и имеет аналогичный неразрушающий или разрушающий характер, как и в случае применения микроскопического метода исследования с помощью светового потока. [Выходные данные]