ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Рис. 87. Схема циркуляционной установки для ионного силицирования: а — циркуляционная камера; б—электрическая схема; I — вакуумный насос; 2 — вымораживатель; 3 — вентилятор; 4 — сосуд с З СЦ; 5—вакуумная лампа; 6 — ртутный вакуумметр; 7 — реакционная камера; 8 — анод; 9 — пирометр; [Выходные данные]