ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы сти вакуумных систем, работающих при предельных остаточных давлениях ниже 6,5-10" Па, и к газоотделению с их внутренних поверхностей более высокие, чем в системах низковакуумных электропечей. Характерной особенностью сверхвысоковакуумных систем являются отсутствие резиновых уплотнений и необходимость внешнего прогрева до 300—600 °С с целью обезгаживания внутренних поверхностей вакуумной системы. [Выходные данные]