ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы В вакуумной технологии тонкопленочных покрытий широко применяют метод очистки поверхности ионной бомбардировкой. Очистка металлической и стеклянной поверхности в тлеющем высоковольтном разряде более эффективна, чем обжиг. Процесс осуществляют в тех же камерах, в которых наносят покрытия [35]. [Выходные данные]