ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Камеры обработки образцов. Общее требование к конструкции приемной камеры — обеспечение высокой производительности процесса и, по возможности, непрерывного режима обработки. Разработка шлюзовых камер различных типов [109] позволила приблизиться к решению проблемы. Дополнительные трудности возникают при обработке деталей сложной формы, что затрудняет обеспечение равномерности легирования. Один из путей решения задачи — вращение обраба- [Выходные данные]