ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы На рис. 4.2 показано относительное увеличение линейного размера для образцов, изготовленных из монокристаллов кремния и арсенида галлия. Для кристалла кремния диаметром 100 мм увеличение диаметра AD = D — D293 составляет примерно 0,1 мм при увеличении [Выходные данные]