ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Деградация ниь-роэлектроявых устройств. С термоди-намич. точки зрения ИС — неравновесная система, закрытая для массообмена со средой, но открытая энергетически в процессе своего функционирования (см. Открытая система). Энергетич, обмен со средой ускоряет процесс релаксации системы к равновесному состоянию. Этот процесс наз, деградацией. Многообразие механизмов деградации породило новую область М., исследующую надёжность микроэлектронных устройств. Осн. особенность механизмов деградации в М. состоит в том, что они протекают при высоких плотностях тока (св. 10® А/см ), высоких напряжённостях электрич. поля (св. 10® В/см) и поверхностных плотностях мощности (10® Вт/см ). В таких условиях становятся неустойчивыми не только распределения тока и поля, но и атомная структура кристалла. Нек-рые механизмы деградации могут быть использованы, напр. разрушение или перестройка внутрисхемных связей и переброс «пакетов» носителей зарядов в глубокие ловушки. [Выходные данные]