ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы 3. Алексеев Г. А. Шлюзовые устройства системы вакуумных напылительных установок и вопросы повышения производительности. «Обзоры по электронной технике. Микроэлектроника», Вып. 78 (147), 1969, с. 1—31. [Выходные данные]