ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Глубину рисок или ступенек, поверхности которых у верхнего и нижнего краев имеют достаточную отражательную способн<х:ть, измеряют приборами МИИ-4 и МИИ-5 интерференционно-индикаторным методом. Интерференционные полосы наводят на резкость последовательно на дно риски и ее край. Глубина риски определяется величиной фокусировочного перемещения микрообъектива. Этим методом можно измерять риски глубиной 20— 100 мкм при ширине до 0,25 мкм [Выходные данные]