ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Р и с. 27. Изменение формы энергетических спектров рассеянных протонов в центре тени [111] монокристалла кремния по мере увеличения размера абразивных частиц полирующей композиции и соответственно глубины и степени повреждения приповерхностных слоев образца [Выходные данные]