ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы За последнее десятилетие в дополнение к коммерческим диодным гнггочникам появились новые напылитет1ьные системы — триод-ные, магнетронные и ионно-пучковые. В зависимости от области 1Трименения и используемых материалов они могут работать как на постоянном, так и на переменном токе. Общие их достоинства по сравнению с диодными —более высокая скорость осаждения, а также возможность контроля и измерения характеристик плазмы и состава газа вблизи поверхности подложки. [Выходные данные]