ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы / — фильтр; 2 — УИП-1; 3 — измеритель тока; 4 — резонансный контур; 5 — экран резонансного контура; 6 — фидерный тракт; 7 — электрод; 8 — вакуумная камера; 9 — медная подложка; 10 — термопара; П — амплитудный детектор; 12 — частотомер ЧЗ-4А; 13 — анализатор спектра С4-5; ?4 — генератор ЛД1-0,6; 15 — клапан; 16 — диффузионный насос; 17 — азотная ловушка; !8 — плита корпуса установки; 19 — вентиль; 20 — контейнер-испаритель карбонила [Выходные данные]