ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы На рис. 8.17 показаны зависимости подвижности для тех же образцов. Кривая А соответствует подвижности, рассчитанной по моделям, описанным выше. Расчетные значения подвижности при малых мощностях лазера завышены. Можно предположить, что отжиг при малой мощности недостаточно эффективно устраняет дефекты, образовавшиеся в результате имплантации, и, таким образом, из-за рассеяния на этих дефектах подвижность носителей уменьшается. Вопрос о влиянии лазерного отжига [Выходные данные]