ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы ОРР эффективно для анализа элементов со средними и большими атомными массами, когда сечения упругого рассеяния велики. Анализ легких элементов (С, N, О) требует больших суммарных потоков зондирующих частиц. В области атомных масс до примерно 40 атомных единиц массы ОРР позволяет различить отдельные изотопы одного и того же элемента; для тяжелых атомов можно различать элементы, отличающиеся по массе примерно на 10 единиц. Анализ распределения химических элементов по глубине по спектрам ОРР с развитием вычислительной техники не представляет серьезной проблемы. В частности, пример программы для анализа химического состава поверхностных, слоев многокомпонентной мишени приведен в работах [215, 216], а иллюстрация ее применения дана в гл. 3 и 4 при обсуждении ионного [Выходные данные]