Процессы в поликремнии, связанные с окислением

Однако остается еще ряд нерешенных вопросов. К ним относится, например, диффузия из поликремния через тонкий слой окисла. Необходимо также изучить вопрос, связанный с кинетикой фазового перехода при высоких концентрациях примеси в окисле, а также вопрос химического взаимодействия примеси с окислом. Кроме того, представляет интерес механизм роста кристаллитов в процессе окисления, который, возможно, существенно отличается от механизма роста кристаллитов в отсутствие окисления. Пока еще определенные трудности для моделирования вызывает также часто применяемый процесс легирования поликремниевых слоев путем предварительного термического осакдения. Для точного расчета со- [c.245]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...