ФАЗОВЫЕ РАВНОВЕСИЯ И ГЕТЕРОЭПИТАКСИЯ

При авто- и гетероэпитаксии кристаллический переходный эпитаксиальный слой формируется в виде областей твердых растворов на основе кристаллических решеток двух срастающихся веществ. Протяженность этого слоя определяется внешними факторами и зависит от фазовых равновесий, характерных для данной системы. Для того чтобы переходный слой имел достаточно высокую степень совершенства кристаллической структуры, необходима взаимная растворимость срастающихся веществ и определенная температура процесса, при которой еще возможно ориентированное нарастание вещества. Существенную роль играют также степень концентрационного пересыщения осаждаемого вещества, совершенство подложки и чистота ее поверхности. [c.327]

Смотреть страницы где упоминается термин ФАЗОВЫЕ РАВНОВЕСИЯ И ГЕТЕРОЭПИТАКСИЯ : [c.86] [c.87] [c.89] [c.91] [c.93] [c.95] [c.97] [c.101] [c.103] [c.107] [c.109] [c.111] [c.113] [c.115] [c.117] [c.119] [c.123] [c.125] [c.127] [c.129] [c.131] [c.133] [c.135] [c.139] [c.143] [c.149] [c.151] [c.153] [c.165] [c.169] [c.173]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...