Изменение формы плоского испарителя

ИЗМЕНЕНИЕ ФОРМЫ ПЛОСКОГО ИСПАРИТЕЛЯ [c.290]

Одним из методов повышения равномерности толщины покрытий на тонких полосовых материалах является изменение формы тонкой подложки. Равномерность достигается тем, что края подложки приближают к испарителю и тем самым компенсируют уменьшение толщины в этих точках при плоской подложке. Очевидно, что для элементарных испарителей форма подложки будет простой. Для точечного или цилиндрического испарителя подложку следует изогнуть так, чтобы она совпала с частью поверхности цилиндра, ось которого проходит через точечный испаритель или совпадает с осью цилиндрического испарителя. В случае элементарного поверхностного источника подложка также должна быть частью цилиндра, но так, чтобы испаритель находился на поверхности этого же цилиндра. Эмиссионные характеристики реальных испарителей, имеющих конечные размеры, значительно отличаются от характеристик элементарных источников. В связи с этим возникает необходимость выбора оптимальной формы подложки для прямоугольного испарителя, так как равномерность толщины, обеспечиваемая данным методом, может быть чрезвычайно высокой. [c.298]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...