Эллипсометрический метод контроля

Для измерений обычно применяется пучок Не-Не лазера (Л = = 633 нм) диаметром 0,1-ь1 мм. Быстродействие определяется скоростью измерения параметров Д и и для ряда эллипсометров с механическим вращением поляризатора и анализатора составляет примерно 1 мс. При использовании электрооптической модуляции параметров эллипса поляризации светового пучка [4.36] быстродействие может быть улучшено на несколько порядков. Если же отраженный пучок с помощью неподвижного анализатора (например, призмы Волластона) делится на две части (поляризованные в плоскости падения и плоскости поверхности) и детектируется двумя фотоприемниками, быстродействие может быть доведено до 1 пс или менее [4.37]. Диапазон измеряемых температур достигает и превышает 1000 К. Термометрия поверхности металлов проводилась в диапазоне до 2000 К [4.38]. Предпринимаются попытки использовать эллипсометрию для измерения температуры структур в установкам молекулярно-лучевой эпитаксии [4.39]. В целом, однако, перспективы применения эллипсометрического метода для температурных измерений в технологическом контроле в настоящее время не определены. [c.106]

Большую ценность представляет лазер для целей неразрушающего контроля качества изготовления различных материалов и изделий машино- и приборостроения. В настоящее время нашли применение методы лазерного контроля по оптическому поглощению, эллипсометрический, голографический, фотоэлектрический и методы на основе магнито- и электрооптических эффектов. [c.4]

Изделия электронной техники. Контроль неразрушающий. Метод определения пористости покрытий с помощью индикаторных паст Изделия электронной техники. Неразрушающий контроль. Методы эллипсометрические и интерферрометрические [c.313]

Энциклопедия по машиностроению XXL

Оборудование, материаловедение, механика и ...