ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Анализаторы полных энергий автоэлектронов из "Структура поверхности и автоэмиссионные свойства углеродных материалов " Все элементы проектора смонтированы на четырех стержнях керамических токовводов (]). Анодная система представляла собой люминесцентный экран (5), закрепленный между двумя кольцами (4), и вольфрамовую сетку (б). Для обеспечения надежного электрического контакта между проводящим покрытием и нижним кольцом (4) наносился слой аквадага. Сетка, предварительно отожженная, натягивалась между двумя кольцами (7). Дополнительный натяг сетки производился с помощью трех винтов (9) и специального кольца ( S). Расстояние между сеткой и люминисцентным экраном составляло 1,5 мм. Автокатод (10), закрепленный в держателе (1J) устанавливался на расстоянии 1,5 мм от сетки. [c.83] В такой конструкции сетка принимает на себя более 90% токо-отбора, не внося существенных искажений в автоэлектронное изображение поверхности образца. [c.83] Анализатор полных энергий автоэлектронов является одним из наиболее перспективных автоэмиссионных приборов для исследования внутренней структуры твердого тела и поверхности потенциального барьера. [c.83] Все анализаторы имеют общую геометрию автоэлектронного проектора [96], то есть эмиссионная картина, которую дают про-туннелировавшие с острия электроны, проецируется на флюоресцентный экран. В экране делается небольшое отверстие, так называемое пробное отверстие, через которое проходят электроны, подвергающиеся дальнейшему анализу. Для выбора нужного для анализа участка поверхности перемещают эмиссионную картину так, чтобы изображение этого участка приходилось на пробное отверстие [115]. [c.83] Независимо от применяемого типа отклонения, изображение острия должно поддерживаться на оптической оси системы. [c.83] Магнитная система отклонения имеет два отчетливо выраженных недостатка при использовании ее в энергетическом анализаторе это трудность экранирования анализатора от магнитного поля и смещение картины при изменении вытягивающего напряжения при снятии вольт-амперных характеристик. [c.84] Электростатическая система отклонения решает обе эти проблемы, но вносит другие сложности, технического плана. Необходимо монтировать маленькие, электрически изолированные отклоняющие пластины в непосредственной близости от образца и осуществлять подвод через вакуумную камеру управляющих электрических сигналов. [c.85] Третий тип — механическое перемещение — достаточно сложен и громоздок, но при известных условиях наиболее предпочтителен, т. к. не дает искажений в спектр энергий автоэлектронов. [c.85] Существует несколько основных типов анализаторов полных энергий автоэлектронов. Самый первый анализатор, сконструированный Е. Мюллером в 1959 году, имел сферический коллектор [116]. Усилия по увеличению разрешения привели к созданию серии анализаторов с полусферическим коллектором [117—119]. Более надежно обеспечивали высокое разрешение анализаторы с цилиндрической замедляющей системой [120, 121] и диспегирующие анализаторы [122, 123], а также их модификации, например [124— 126]. Обзор большинства типов конструкций анализаторов полных энергий автоэлектронов приведем в [127]. Ниже приведем две конструкции анализаторов, изготовленные автором. [c.85] Конструкция анализатора с задерживающим потенциалом и полусферическим коллектором представлена на рис. 2.15 [119]. Основные детали анализатора — анод (4) с зондовым отверстием диаметром 1 мм с нанесенным на анод слоем люминофора, фокусирующей системы, цилиндра Фарадея (9), полусферического коллектора (8). Коллектор (8) изготовлен из молибдена в виде полусферы с большой точностью и чистотой обработки поверхности. Это необходимо для увеличения разрешения анализатора. Фокусирующая система состоит из трех диафрагм. Роль первой диафрагмы выполняет анод (4) со входным отверстием диаметром 1 мм. Вторая диафрагма (5) имеет отверстие диаметром 2 мм. Третьей диафрагмой является крышка цилиндра Фарадея (6) с отверстием диаметром 4 мм. Диафрагмы изготовлены из молибдена и закреплены с помощью стеклянных бусинок (7). [c.85] Пучок автоэлектронов, эмиттируемый с острия (3), вырезается зондирующим отверстием в аноде (4), фокусируется в центре молибденового полусферического коллектора (S) и далее движется по нормали к поверхности полусферы. Задерживающий потенциал подается на автоэмиттер (J). Кривая задержки записывается на самописце, а затем дифференцируется. Аналогичные конструкции используются в [128, 129]. [c.85] Конструкция анализатора с цилиндрической замедляющей системой приведена на рис. 2.16 [121]. [c.85] Г-образными керамическими вставками (18). Вся система линз стягивается тремя стержнями 4) через изолированные винты (5), которыми она крепится к основанию (9). К нему на трех изоляторах 8) крепится натянутая на кольцо сетка (7) (400линий/см), изготовленная электролитическим способом. Шаг сетки, натяг и эквипотенциальность ее поверхности имеют наибольшее влияние на разрешение анализатора. Вся конструкция крепится к фланцу камеры тремя винтами 10). [c.86] За сеткой расположена микроканальная пластина (6), которая используется в качестве коллектора. Образец И) приваривается к дужке 13), закрепляемой в держателе 16) юстированного устройства (на рис. 2.16 не показан). [c.86] Вернуться к основной статье