ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Методы химического осаждения из газовой фазы из "Молибден в ядерной энергетике " Таким образом, метод пиролиза карбонилов в протоке обладает рядом недостатков, главные из которых следующие 1) невысокая адгезия покрытия с матрицей 2) невозможность практически избежать загрязнения покрытия углеродом 3) низкий коэффициент использования карбонилов, не превышающий обычно 30% 4) невозможность получения заданной текстуры покрытия 5) склонность покрытий к образованию текстуры рекристаллизации, так как покрытия получаются обычно при значительно более низких температурах, чем рабочие 6) невозможность получения равномерных по толщине покрытий на длинных образцах труб, прутков и т. п. Из-за большого количества недостатков этот метод покрытий молибденом и вольфрамом почти не применяется н нельзя сказать, что он перспективен для этих целей. [c.109] С возрастанием температуры скорость осаждения молибдена растет, а положение максимума и точки нулевого роста на кинетических кривых смещается в сторону более высоких концентраций MoFe в газовой смеси. [c.110] При высоких температурах и относительно низком парциальном давлении МоРе, когда лимитирующей стадией процесса является диффузия компонентов реакции к поверхности осаждения, осадки образуются из отдельных иглообразных дендри-тов (рис. 5.4, а, б), которые практически не связаны между собой. В области TeiinepaTyp и концентраций, где лимитирующей стадией процесса является образование низших фторидов молибдена (первая кинетическая область), формируется серебристо-белый осадок, имеющий на поверхности правильные пирамидальные образования с кристаллической огранкой (рис. 5.4, в, г). [c.111] В области высоких концентраций МоРе, где скорость процесса определяется скоростью восстановления низших фторидов до металла (вторая кинетическая область), значительная часть поверхности осаждения занята трифторидом молибдена, что создает условия для его накопления в слое получаемого осадка. В этом случае при температурах 900—1000° С формируется серебристо-белый осадок, имеющий на поверхности такую же кристаллическую огранку, что и в кинетической области, но вершины пирамидальных образований здесь сглажены вследствие одновременного протекания процесса травления. В структуре таких осадков наблюдаются включения МоРз и пустоты (рис. 5.4, д, е). Снижение температуры процесса усиливает влияние трифторида молибдена на формирование осадка. При 7 800°С формируется темно-серый, гладкий с мелкодисперсными образованиями на поверхности осадок (рис. 5.4, гж), обнаруживающий слоистую структуру в изломе (рис. 5,4, з). При повышении концентрации гексафторида молибдена в газовой смеси на поверхности появляются каплевидные образования (рис. 5.4, ы), а в структуре осадка появляется множество пор и темных включений (рис. 5.4, /с). [c.111] По своей структуре покрытия из фторидного молибдена представляют собой совокупность столбчатых кристаллов, размер которых в направлении, перпендикулярном направлению роста, зависит от температуры осаждения (табл. 5.1). [c.113] Регулируя и поддерживая давление в аппарате постоянным на заданном уровне, этим методом можно получать осадки и покрытия с заданной текстурой, так как на характер ее формирования при кристаллизации из газовой фазы в основном влияют два параметра давление насыщенных паров осаждаемого металла и температура на поверхности осаждения [90]. Модернизированный метод транспортных реакций имеет еще три важных преимущества. Он позволяет 1) получать осадки и покрытия с высокой скоростью (до 1,0—1,5 мм/ч), так как последняя не снижается в ходе процесса осаждения из-за повышения давления в аппарате 2) наносить покрытия с заданной толщиной, так как процесс можно вести до тех пор, пока все исходное сырье не окажется на подложке 3) получать покрытия с высокой адгезией, так как травление поверхности подложки происходит в парах галогенида непосредственно перед нанесением покрытия в том же аппарате. [c.117] Вернуться к основной статье