ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Нанесение покрытий в вакууме из "Антикоррозионная служба предприятий. Справочник " При вакуумно-диффузионном методе температура основы близка к температуре ее плавления, формирование покрытия сопровождается образованием диффузионных переходных слоев. Коррозионная стойкость покрытий близка к стойкости монолитного материала того же состава. К недостаткам метода относятся большая трудоемкость нанесения покрытий, особенно тугоплавких, необходимость высокотемпературного нагрева подложки и длительность процесса. [c.140] При термическом напылении в вакууме металл покрытия помещают в вакуумную камеру (давление 10 —10 Па) и нагревают до температуры, при которой давление его паров достигает порядка 1 Па. На пути потока паров металла помещают защищаемую поверхность, на которую они осаждаются. [c.140] Метод непрерывного термического напыления в вакууме отличается высокой производительностью, покрытия наносят на непрерывно движущуюся ленту и получают однородными с высокой степенью чистоты. Недостатком метода является сложность оборудования и технологии для получения и поддержания вакуума порядка 10-2 f] a испарения больших количеств металла. [c.140] Ионное осаждение в вакууме отличается от предыдущего метода тем, что пары осаждаемого металла или сплава ионизируются в плазме тлеющего разряда, в котором катодом слум ит испаряемый материал, а анодом — подложка. Нагрев производят различными методами. Пары металла попадают в плазму при сравнительно высоком давлении (0,1—1,0 Па) инертного газа (Не, Аг, Кг). При этом происходит ионизация паров, ионы ускоряются электрическим полем, поток ионов осаждается на подложке. Этот метод — разновидность плазменного напыления. [c.140] Вернуться к основной статье