ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Усовершенствование просвечивающего электронного микроскопа из "Металлография железа 1 " Давление в колонне микроскопа должно быть менее 10 мм рт. ст. (10 я/л ). Поэтому ее изготовляют из вакуумноплотных материалов, которые, кроме того, должны быть ферромагнитными и обладать такой магнитной проницаемостью, которая позволяет обеспечить магнитную экранировку. Герметичность соединения разъемных частей колонны (колонна обычно состоит из нескольких независимых узлов) достигается при помощи вакуумных уплотнений, изготовленных из резины или неопрена (синтетического каучука). Эти уплотнения зажаты между двумя металлическими пластинами, причем одна из пластин имеет канавку, глубина которой несколько меньше, чем радиус уплотнения. [c.16] Для достижения нужной степени вакуума используют насосы. Применяют в основном две системы откачки первая, весьма простая, состоит из паромасляного диффузионного насоса, соединенного с механическим насосом эта система работает непрерывно вторая включает в себя паромасляный и парортутный диффузионные насосы и механический насос. [c.16] В последней системе между ртутным и механическим насосом предусмотрена камера, которая служит вакуумным резервуаром. [c.16] Обратное давление ртутного насоса является высоким, поэтому механический насос можно останавливать на длительное время, почти не изменяя условий работы диффузионных насосов. Многие изготовители предпочитают именно эту систему, так как она избавляет от вибраций колонны микроскопа при работе механического насоса. [c.16] Однако паромасляные диффузионные насосы создают восходящий поток паров масла, направленный навстречу потоку откачиваемых газов. Его можно осгановить, по крайней мере частично, охлаждаемыми экранами, на которых будут конденсироваться масляные пары. Но несмотря на это, в процессе исследования образец загрязняется парами масла. Этот недостаток ограничивает время наблюдения, что особенно чувствительно, когда требуется получить изображение с высоким разрешением. [c.16] Для обеспечения высокого вакуума в колонне микроскопа необходима сложная система воздушных шлюзов, позволяющих при помещении образцов и фотопластинок в колонну микроскопа ограничить количество воздуха, проникающее в нее при каждой операции. Без этих шлюзов производительность микроскопа значительно понизилась бы из-за необходимости проводить откачку всей колонны микроскопа при каждой смене образца или фотографических пластинок. [c.16] В металлографии электронный микроскоп сначала применяли, как правило, для исследования реплик металлических поверхностей. Эти реплики, вначале довольно грубые, теперь позволяют получать высокие разрещения. Однако разрешения реплик далеки от предела разрешения электронного микроскопа (см. гл. 12 с. 47). [c.16] Увеличение плотности потока электронов и ускоряющего напряжения в микроскопе сделали возможным непосредственное исследование тонких металлических фольг. Как и в оптическом микроскопе, в электронном микроскопе теперь можно изучать также поверхности массивных образцов. [c.16] Однако возбуждение нельзя увеличивать до такой степени, чтобы кроссовер электронного пучка оказался в поле обмотки, так как в этом случае действие задней части обмотки окажется противоположным действию передней части. [c.16] Микроскоп с тремя системами линз (рис. 18) свободен от указанных ограничений. Более того, он имеет ряд дополнительных преимуществ. Поместив промежуточную линзу между объективной и проекционной линзами, можно получить очень большое увеличение, которое к тому же будет оптимальным, т. е. ему будут соответствовать наименьшие аберрации. Используя проекционную линзу с большим апертурным углом, можно уменьшить длину проекционной камеры. И, наконец, для получения широкого интервала конечных увеличений необходимо изменять увеличение промежуточной линзы в пределах небольшого диапазона. Этим расширяются возможности микроскопа, так как его можно настраивать без промежуточной линзы, к которой предъявляются строгие требования. Так как плоскость изображения промежуточной линзы расположена внутри проекционной линзы, можно без какого-либо искажения заполнить небольшой диаметр круговой апертуры проекционной линзы даже для довольно больших изменений увеличения. [c.16] Вернуться к основной статье