ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Рассеяние поверхностных волн. Резонаторы и фильтры на основе из "Введение в физическую акустику " Физическая природа рассеивателей поверхностной волны может быть различной. Они могут использовать изменение геометрии поверхности (канавки) локальное закорачивание электрического поля на поверхности пьезоэлектриков или инерционную нагрузку, действие которой добавляется к геометрическому и электрическому факторам (металлические или диэлектрические полоски на поверхности твердого тела) введение примесей в подложку с помощью ионной имплантации или диффузии и т. д. На рис. 12.8 изображены периодические решетки, сформированные рассеивателями описанных выше типов. [c.318] Первые подробные расчеты рассеяния ПАВ рэлеевского типа на топографических неоднородностях в рамках первого приближения теории возмущений были проделаны Туаном с сотрудниками (см. [44]) для изотропного твердого тела. При этом были получены аналитические выражения для коэффициентов отражения рэлеевской волны и для диаграмм рассеяния в объем среды. Рассеяние рэлеевских волн на неоднородностях типа канавок и полосок при наклонном падении впервые рассматривалось в работах [46, 51]. [c.320] Наибольший интерес с точки зрения приложений рассеяния ПАВ в акустоэлектронике представляют отражательные решетки, базовыми элементами которых являются рассмотренные выше элементарные рассеиватели. В случае нормального падения ПАВ на решетку ее период й, или расстояние между центрами двух соседних рассеивателей, выбирается равным % 2, где % — длина ПАВ. [c.320] Более строгий метод анализа отражательных решеток, основанный на известном в интегральной оптике методе связанных мод, был развит в [29, 30, 531. В работах [54, 55] для расчета рассеяния ПАВ на решетке использовался модифицированный метод возмущений, основанный на специальном выборе нулевого приближения к решению. При этом, в частности, была решена задача об отражении рэлеевской волны от решетки при наклонном падении с учетом многократного рассеяния [55]. [c.321] Рассеивающие структуры ИАВ могут с успехом применяться и для создания полосовых фильтров. Однако работ, посвященных этому вопросу, относительно немного (см. обзор 140J). По-видимому, это объясняется тем, что полосовые фильтры на отражательных решетках не имеют существенных преимуществ перед устройствами на ВШП (см. 3) и могут конкурировать с последними лишь в тех случаях, когда условия эксплуатации накладывают какие-либо ограничения на выбор материалов подложек или к характеристикам фильтров предъявляются повышенные требования. Отметим, что привлекательной особенностью всех приборов с отражательными решетками является то, что в принципе они не требуют пьезоэлектрических подложек. Это позволяет с большей свободой подходить к выбору материала подложек для удовлетворения различных специфических требований, например обеспечения высокой температурной стабильности. [c.324] Вернуться к основной статье