ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Тепловизионные микроскопы и микрорадиометры из "Приборы для неразрушающего контроля материалов и изделий том 1 " Отличительной особенностью тепло-визионных микроскопов является увеличение оптического объектива, большее единицы. У таких микроскопов, как приставка к тепловизору АГА-680, оно больше 50. Тепловизионные микроскопы предназначены в основном для обследования и измерения тепловых полей изделий микроэлектроники. [c.139] Особенности применения определили конструктивные особенности теплови-зионных микроскопов. Как правило, это настольные приборы, а объект исследования располагается горизонтально. Фокусировка осуществляется перемещением самого объекта, изменение увеличения — заменой части или всего объектива. Близки по конструкции и назначению к тепловизионным микроскопам ИК микрорадиометры. Оптико-механическое сканирование части объекта осуществляется перемещением столика с установленным на нем исследуемым, объектом. Скорости сканирования, как правило, медленные — от десятков секунд до нескольких минут. [c.139] Один из вариантов анализатора тепловых полей АТП-11 — микроскоп. Время сканирования кадра, как и у всех приборов этого типа, 5 с. Зеркальный объектив обеспечивает линейное разрешение 100 мкм в центре поля зрения и температурное резре-шение 0,5 °С. [c.139] Известен также ИК сканирующий микроскоп ГОИ со временем сканирования кадра 2,5 мин и температурным разрешением 1 С, линейное разрешение до 20 мкм. [c.139] Для теплового контроля интегральных микросхем, транзисторов, катодных узлов выпущена серия микрорадиометров ИКР-3, ИКР-4, ИКР-5. Перемещение осуществляется с помощью двухкоординатного микрометрического столика, визуальный контроль — с помощью встроенного микроскопа. Все приборы этога типа имеют двух-аеркальный объектив, используется модуляция излучения. Объектив обеспечивает увеличение от X10 до Х40, при этом достигается линейное разрешение 60—20 мкм, температурное разрешение 0,5—3 °С. В усилительном устройстве обеспечена линейная зависимость выходного напряжения от измеряемой температуры, что позволяет измерять температуру изделий. [c.139] На базе ыикрорадиометров комплектуются автоматизированные установки, как, например, ИКАР-1. ИКАР-1 представляет собой комплект оборудования, предназначенный для автоматического контроля и отбраковки изделий, — устройство регистрации, устройство прецизионных перемещений по программам, блок излучателей, блок связи с ЭВМ и др. [c.139] Технические характеристики современных тепловизоров приведены в табл. 10. [c.139] Вернуться к основной статье