ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Приборы для контроля топографии поверхностей и объемных поверхностных дефектов из "Приборы для неразрушающего контроля материалов и изделий том 1 " Приборы для контроля шероховатости поверхности. Для контроля поверхностей применяют в основном интерференционные приборы. [c.67] Принцип действия интерферометров основан на сравнении световых волн, получаемых при отражении когерентных пучков света от контролируемой и эталонной поверхности. [c.67] На рис. 9 показана схема двухлучевого микроинтерферометра Линника. В ее основу положен принцип действия интерферометра Майкельсона. Свет от источника 1 (лампа накаливания) проходит через конденсор 2 и диафрагму 3, зеркалом 4 делится на два когерентных пучка, которые фокусируются объективами 5 и 5 на эталонное зеркало в и контролируемую поверхность 7 соответственно. После отражения от эталона и изделия пучок проходит через те же элементы схемы и фокусируется линзой 8 в плоскости диафрагмы 9, в которой с помощью окуляра /О наблюдают интерференционную картину взаимодействия эталонного и рабочего пучков света. [c.67] Величину ДЛ/ оценивают на глаз или измеряют окулярным винтовым микрометром типа МОВ-1-15. [c.68] Наибольшая глубина рисок, измеряемых с помощью двухлучевых микроинтерферометров, определяется апертурой и увеличением микрообъектива. Согласно ГОСТ 9847—79 микроишер-ферометры рекомендованы для измерений неровностей от 0,1 до I мкм. [c.68] Микроинтерферометры обычно снабжают устройством для фотографирования интерференционной картины. [c.68] Для расширения верхнего предела измерения интерферометров предложены различные устройства. Так, с помощью интерференционного клинового компенсатора А. И. Карташова микрон нтерферометрами МИИ-4 и МИИ-5 можно измерять неровности высотой от 4 до 30 мкм. [c.68] Для определения поверхности с параметрами шероховатости Rz = 3,2- - 80 мкм применяют оптический про-филометр Ю. В. Коломийцева, представляющий собой сочетание микро-интерферометра с двойным микроскопом. Его оптическая схема показана на рис. 10. [c.68] Свет от источника с помощью конденсора 2 освещает щель 3, расположенную в фокусе коллиматора 4, Объектив 7 с помощью зеркала 5 и светоделительной призмы 6 проектирует щель 3 на контролируемую поверхность 9. Объектив 8 проектирует ее на зеркало 10. После отражения пучки попадают в объективы 11 и 12, соединяются призмой 13 и зеркалом 14 направляются в объектив 15. [c.68] Поверхности с малыми неровностями ( 0,002 мкм) контролируют методом многократного отражения лучей, называемым также методом многолучевой интерферометрии. [c.69] Схема многолучевого микроинтерферометра показана на рис. 11. Свет от источника / (ртутная лампа низкого давления, дающая монохроматическое излучение, выделяемое фильтром 10) через диафрагму 2 проходит конденсор 3 и параллельным пучком падает на полупрозрачное зеркало 4. После отражения пучок проходит пластину 5, накладываемую на объект 6 под малым углом (0. Ее нижняя сторона покрыта слоем вещества с коэффициентом отражения, близким к коэффициенту отражения контролируемой поверхности. [c.69] Примером многолучевого интерферометра может служить прибор Муль-тими фирмы Иогансон (Швеция). Его увеличение 50 и 150, апертуры объективов 0,14 и 0,18, поле зрения 3,25 и 1,18 мм соответственно. Пределы измерений 2. .. 0,01 мкм, точность до 0,002 мкм. [c.69] Рассмотрим еще один тип интерференционного прибора для контроля шероховатости поверхности — микроскоп сравнения (компаратор) конструкции В. И. Саркина (рис. 12). [c.69] Прибор позволяет одновременно наблюдать две интерференционные картины, одна из которых формируется изделием, а вторая — эталоном шероховатости (обычно это изделие того же типа, что и контролируемое). Свет от источников I падает на образец 2 и эталон 2 и с помощью призм 4, зеркал 3, объективов 5 и призм 6 к 7 формирует две интерференционные картины в фокальной плосковти 9 окуляра 8. О качестве образца судят по степени различия этих партии. [c.70] Спектральный диапазон микроинтерферометров можно существенно расширить, используя преобразователи изображения. Это позволяет распро-сгранить хорошо отработанные методы контроля на материалы, непрозрачные в видимой области спектра. [c.70] С помощью почти всех микроинтерферометров можно контролировать изделия не только в отраженном, но и в проходящем свете. При этом они используются в качестве оптических толщиномеров высокой точности для контроля различных пленок, прозрачных покрытий и т. п. (табл. 7). [c.70] Этот метод применяют в основном в оптическом производстве. В ГОИ разработан прибор ИАБ-10 для контроля теневым методом вогнутых и выпуклых параболических зеркал диаметром до 70 мм и радиусом 5—50 мм. [c.71] С помощью специальной насадки можно контролировать плоские детали. [c.71] Аналогичную конструкцию имеют приборы ПСС, ПСС-2 и приборы теневого сечения типа ПТС. Параметры этих приборов приведены в табл. 8. [c.72] Вернуться к основной статье