ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Обнаружение течей в вакуумной аппаратуре с помощью масс-спектрометрических течеискателей из "Техника вакуумных испытаний " Масс-спектрометрические течеискатели ПТИ-4А и ПТИ-6 могут быть применены для обнаружения течей и измерения натеканий в самых разнообразных лабораторных и производственных условиях. Испытание крупных вакуумных агрегатов и цельнометаллических вакуумных систем, массовая проверка на герметичность отдельных деталей и малогабаритных изделий, обнаружение неуплотненных мест в объемах, находящихся под избыточным давлением, — таков неполный перечень возможных применений этих приборов. Все виды подобных работ требуют особого подхода и своеобразных условий, поэтому их следует рассмотреть последовательно, начав с вакуумной аппаратуры. [c.227] Рассмотрим сначала первую категорию. [c.227] Испытание стациона)рных вакуумных систем. Основным методом испытания на герметичность стационарных вакуумных систем служит обдувание их внешней поверхности струей гелия и обнаружение проникшего через течи гелия с помощью течеискателя, соединенного своей вакуумной полостью с испытуемым объемом через дросселирующий вентиль. [c.227] При конструировании и монтаже любого стационарного вакуумного оборудования необходимо учитывать, что это оборудование должно подвергаться испытанию на герметичность, не только при сборке и наладке, но и периодически в процессе эксплуатации. Поэтому в каждой вакуумной установке следует предусматривать специальные трубопроводы и вентили для предварительной откачки соединительных трубопроводов и соединения внутренней полости аппаратуры с вакуумной системой течеискателя, а также возможность установки течеискателя в непосредственной близости от испытуемого объекта. Конструкция вакуумной системы должна быть такой, чтобы можно было проверять все ее участки. К труднодоступным (скрытым) участкам поверхности, отделяющим вакуумную полость от наружной атмосферы, должны вести специальные каналы. [c.227] Качество проведения испытаний на герметичность сильно зависит от места и способа подсоединения течеискателя. [c.227] Наиболее высокие требования к герметичности предъявляют обычно к высоко вакуумным коммуникациям и объемам. Однако присоединение течеискателя непосредственно к стороне высокого вакуума нецелесообразно в связи с теми общими соображениями, которые были изложены в 14-1. Такое присоединение сводит на нет роль собственной откачной системы течеискателя, так как эффективная быстрота откачки испытуемого объема асосами течеискателя, как правило, оказывается пренебрежимо 1малой по сравнению с эффективной быстротой откачки насосами системы. Общее количество газа, про ходящее через течеискатель, оказывается значительно меньше того количества, которое он способе н пропустить через себя. Чувствительность испытаний резко снижается. [c.228] Присоединение течеискателя к линии предварительного разрежения существенно меняет картину, так как в этом случае потоки распределяются пропорционально эффективным скоростям откачки течеискателя и механического насоса в месте разветвления трубопровода и доля общего потока, проходящего через течеискатель, оказывается значительной. [c.228] Вакуумные испытания аппаратуры без собственной насосной группы. [c.231] С алпаратурой без собственной насосной группы приходится сталкиваться при проверке герметичности электронных -приборов до их -отпайки, в процессе предварительных испытаний изготовляемых элементов вакуумных систем, а также при проверке на герметичность различных объемов, поддающихся откачке. Независимо от размеров испытуемых объектов ни в коем случае нельзя подключать их непосредственно к фланцу течеискателя и откачивать насосами ПТИ. Предварительная откачка объемов от атмосферного давления должна проводиться специально предусмотренным для этого вспомогательным насосом. [c.231] Испытания эти обладают плохими временными характеристиками в случае больших объемов (эффективная быстрота откачки объема оказывается малой). В случае малых объемов испытания могут идти успешно. При этом не следует искусственно занижать эффективную быстроту откачки объема 5э=5т+5м применением трубопроводов большого сопротивления. Отрезок Ь трубопровода на рис. 14-6 должен иметь минимальную длину и возможно больший диаметр. Кроме того, он не должен быть источником газоотделения, увеличивающего общий поток. [c.232] Общие правила работы с течеискателем и методика проведения испытаний. Все вакуумные соединения в схеме испытания должны проводиться через возможно более короткие и широкие трубопроводы. Соединительные коммуникации должны быть предельночистыми, с тем чтобы не увеличивать своим газоотделением общий поток газа в системе. Применение резиновых шлангов в качестве соединительных трубопроводов нежелательно как вследствие их значительного газоотделения, так и из-за способности резины насыщаться гелием с последующим выделением его, приводящим к увеличению фоновых отсчетов. [c.232] В случае испытания вакуумных систем, снабженных собственными механическими и пароструйными насосами, течеискатель следует подсоединять к линии предварительного разрежения в месте наибольшего протока — у входа в механический насос. Такое подсоединение обеспечивает наибольшую чувствительность и возможность испытания всех частей системы (кроме механического насоса и соединений с ним). [c.232] Устранение течей по мере их обнаружения обязательно,так как оно способствует увеличению чувствительности. Нежелательно применение временных уплотнителей, замазок и т. п., загрязняющих поверхности и препятствующих последующему устранению течей. [c.232] При улучшении давления вследствие устранения течей следует открывать дросселирующий вентиль вплоть до полного его вскрытия, поддерживая все время в камере течеискателя предельно допустимое (рабочее) давление. [c.232] За счет улучшения временных характеристик эффективность испытаний оказывается выше при работающем пароструйном насосе. [c.233] Присоединение грязной и влажной аппаратуры к течеискателю выводит из строя течеискатель и вспомогательный механический насос. Если же все-таки есть необходимость испытания аппаратуры, тщательная осушка которой невозможна, то для вспомогательной откачки следует применять газобалластный механический насос, а течеискатель отделять вспомогательной охлаждаемой азотной ловушкой, располагаемой перед дросселирующим вентилем. Размораживание такой ловушки может производиться только при закрытом дросселирующем вентиле течеискателя. [c.233] Дросселирующий вентиль течеискателя можно открывать только после того, как во всех частях соединительного трубопровода получено предварительное разрежение. [c.233] В схеме вакуумных испытаний желательно предусматривать образцовую течь, для того чтобы в сомнительных случаях непосредственно в ходе испытаний обдуванием ее убедиться в правильности настройки течеискателя и нормальной реакции его а гелий. Во время поиска течей образцовая течь должна быть изолирована. [c.233] Наиболее широко применяемый метод проведения вакуумных испытаний представляет собой обдувание испытуемой аппаратуры пробным газом (гелием). [c.233] Под некоторым давлением пробный газ из резервуара (газгольдер, баллон, кислородная медицинская подушка и т. п.) через резиновый шланг подается к обдувателю . Из сменного наконечника обдувателя выходит регулируемая струя гелия. Наблюдая за показаниями выходного прибора, оператор направляет струю гелия на подозреваемые в натекании места аппаратуры. Обдувание следует начинать с верхних частей аппаратуры (в связи с тем, что телий легче воздуха) и с частей ее, расположенных ближе к течеискателю (с учетом влияния временных характеристик). В первую очередь следует испытывать сварные швы, места пайки, уплотнения и т. п. и только затем в случае необходимости переходить к последовательному обдуванию всей ио-верхности. На первой стадии испытаний целесообразно усганавливать сильную струю гелия, покрывающую сразу большую поверхность, с тем чтобы определить, в какой части системы имеется течь. Затем уже можно уменьшить струю гелия так, чтобы она слегка чувствовалась при поднесении к губам, и произвести точное определение места течи, медленно перемещая обдуватель сверху вниз в направлении увеличения отсчета, пока последний не достигнет наибольшего значения. Слишком быстрое перемещение обдувателя снижает чувствительность испытаний. Можно рекомендовать скорость перемещения порядка 1 см сек. Труднодоступные места аппаратуры следует обдувать более продолжительное время. [c.233] Вернуться к основной статье