ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Калиброванные течи из "Техника вакуумных испытаний " Точность метода градуировки по смеси известной концентрации ограничивается возможным нарушением вязкостного режима течения через дросселирующий вентиль. Отклонение от этого режима приведет к тому, что в течеискатель будет проникать смесь газов, по составу отличающаяся от исходной. Первый метод градуировки с помощью калиброванных течей способен обеспечить большую точность. Однако линейность отсчета масс-спектрометра при малых потоках в настоящее время подвергается сомнению. Имеются сведения [Л. 9-1] о том, что абсолютная чувствительность течеискателя возрастает при стремлении течи к нулю. Поэтому, для точного определения величины испытуемой течи целесообразно эталонировку течеискателя производить с помощью калиброванной течи того же порядка, что и измеряемая. [c.163] В процессе калибровки течеискателя следует учитывать его инерционность. [c.163] Вопросу калибровки масс-спектрометрического течеискателя посвящены работы [Л. 9-2, 9-3]. [c.163] В процессе проведения современных испытаний на герметичность могут понадобиться течи от 10 до 10 л-жк/сек. Однако в настоящее время еще невозможно перекрыть весь указанный диапазон постоянными по величине эталонными течами, особенно в диапазоне предельно малых течей. [c.164] Наибольшую трудность представляет собой создание эталонных течей, предназначаемых для количественных измерений.. Такая течь должна обладать стабильностью, воспроизводимостью, простотой в изготовлении и применении. Конструкция течи должна позволять предопределять ее величину. [c.164] К — переход кварц — стекло Т — тонкостенный кварцевый пузырек, пропускающий гелий. [c.164] Пропуская селективно такие газы, как гелий и водород, они практически непроницаемы для аргона и тем более фреона. [c.164] Изо всех стекол наибольшей проницаемостью обладает плавленый кварц, который и применяется для создания эталонных течей. [c.165] Помимо температуры, учитываемой совершенно определенной зависимостью, на величину потока через определенную кварцевую стенку практически ничто не влияет, и течи такого типа в течение длительного времени дают постоянный поток гелия. Изменение потока обусловливается только убылью гелия в баллоне и при объеме баллона У—0,5 л и величине течи Ю лмк сек составляет около 2% в год, что подтверждается экспериментальными данными (Л. 9-13]. Весьма существенно [Л. 9-8], что проницаемость мембран для данного газа не меняется в присутствии другого газа. [c.165] Показанная на рис. 9-1 течь неуниверсальна не только с точки зрения селективной проницаемости для отдельных газов, но и в смысле диапазона ее применения. Она может быть применена для калибровки течеискателя после предварительной откачки объема между течью и дросселирующим краном течеискателя. Однако кварц не может использоваться как течь, которую можно было бы обдуть гелием в ходе вакуумным испытаний. Определяется это инерционностью диффузионных процессов. [c.165] Такие течи не могут подобно кварцевым сохранять неизменными свои характеристики в течение многих месяцев, но в случае периодических калибровок могут, с успехом применяться в практической работе. Они удобны также для проверки реакции течеискателя в процессе работы, поскольку такие течи не пропускают воздух и не меняют уровня остаточного давления в системе. Таким образом, созданием диффузионных течей разного вида может быть обеспечена работа с масс-спектрометрическим течеискателем. Вопрос калибровки галоидного течеискателя этим путем решен быть не может. [c.166] Для галоидного течеискателя образцовую течь следует выбирать среди многочисленных типов других течей, представляющих собой каналы разного вида. К ним относятся сплющенные капилляры из мягкого металла оттянутые толстостенные стеклянные капилляры течи со вкладышами из пористых материалов течи, основанные на различии коэффициентов теплового расширения материалов, идущих на их изготовление натекатели разного типа. [c.166] Стабильность — это основное требование, предъявляемое к эталонным течам во всех течах недиффузионного типа стабильность зависит от неизменности их геометрии. Для получения стабильных течей желательно для их изготовления применять некорродирующие материалы, не обладающие пластической текучестью, свободные от напряжений, обладающие малым коэффициентом теплового расширения. Загрязнение стенок должно вызывать минимальное изменение течи, для чего необходимо минимальное отношение поверхности стенок к площади отверстия, а поверхность стенок должна быть гладкой. [c.166] Воспроизводимость и возможность регулировки величины течи при наличии стабильности определяются техникой производства и калибровки, а также свойствами материалов, из которых изготавливается течь. Величина течи может регулироваться механическим изменением отверстия течи, регулировкой перепада давлений и изменением концентрации пробного газа в смеси газов. Последние два способа громоздки и не всегда допустимы. [c.166] Достаточно просто течь может быть изготовлена помещением пористого металла в резиновое уплотнение [Л. 9-18]. [c.167] Могут быть изготовлены более стабильные пористые неметаллические течи из керамик, регулируемые путем изменения уровня ртути, закрывающей часть стержня )[Л. 9-20]. Однако такие течи слишком громоздки и неудобны в эксплуатации, сложны в изготовлении, велики по проводимости и требуют частой калибровки. [c.167] Однако и они не обладают достаточной стабильностью потока, частично закрываясь после установки вследствие засорения, коррозии и деформации материалов. [c.167] При оттяжке капилляров существенны размеры и температура пламени, температура вытягиваемого стекла и сам процесс вытяжки, поэтому к такой операции необходимо приноровиться. Слишком рассеянное пламя дает слишком длинные воронки, слишком высокая температура вытяжки — короткое сужение, при слишком локализованном нагреве течи получаются хрупкими. [c.167] Течи из стеклянных капилляров могут быть сделаны в виде дырки в вакуум (путем установки их хотя бы в грибковое уплотнение) или как баллоны с газом, создающие непрерывный поток этого газа в атмосферу (рис. 9-4). Для предупреждения засорения суженный конец капилляра должен обязательно располагаться на входе. Тогда посторонние частицы, попавшие в капилляр, легко пройдут дальше. [c.167] Описанные течи достаточно стабильны, редко засоряются (в основном в результате небрежного хранения). Для предосторожности на входе течи могут быть поставлены стеклянные фильтры. [c.167] Вернуться к основной статье