ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Магнитные электроразрядные манометры из "Техника вакуумных испытаний " В отличие от ионизационных магнитные электроразрядные манометры не имеют накаленных деталей, поэтому они могут включаться в работу независимо от степени разрежения газов в вакуумной установке. На рис. 3-10 показан манометр ММ-5 в разрезе. Он состоит из корпуса 1, изготовленного из красной меди. Центральная часть корпуса выполнена в виде полого параллелепипеда, боковые стенки которого одновременно служат катодными пластинами. В плоскости, параллельной катодным пластинам, расположен анод 2 в виде кольца из тонкой жести. Анод закреплен на анодном выводе 3. Другой конец анодного вывода через проходной электрический изолятор 4 вакуумноплотно выведен за пределы внутренней полости манометра. Анодный вывод заканчивается колпачком 5, на который подается высокое положительное напряжение (до 3 ООО в). Магнитопровод 6 и полюсные наконечники 7 магнита находятся вне вакуума и закреплены в кожухе 8. Для присоединения манометра к вакуумной установке в нижней части его корпуса предусмотрен патрубок 9. Действие такого манометра основано на возникновении электрического разряда, ток которого зависит от давления. [c.39] Манометром ММ-5 можно измерять давление воздуха от 8 10 до 2-10 мм рт. ст. При измерении давления—отличных от воздуха газов пользуются градуировочными графиками (рис. 3-11). [c.39] Благодаря наличию в схеме вакуумметра реле вакуумной блокировки магнитный электроразрядный манометр может быть использован в качестве защитного элемента вакуумной системы. При повышении давления газов в установке выше заданного на вакуумметре предела реле срабатывает. При этом вакуумметр может отключить от сетевого напряжения приборы, боящиеся повышения давления, или, наоборот, включить различные сигнальные устройства. [c.40] Градуировочные кривые манометра ММ-5 по различным газам. [c.40] На рис. 3-16 показан магнитный электроразрядный манометр ММ-10 с собственным магнитом. Он состоит из стеклянной колбы 1 с электродами, постоянного магнита 2, крепежного каркаса 3, резиновой амортизационной прокладки 4. В манометре использованы полюсы магнита манометра М.М.-5. [c.42] Такой манометр устойчиво работает при давлениях выше 1 10 мм рт. ст. вплоть до давлений 2- 10- мм рт. ст. Погрешность измерения в этом диапазоне составляет примерно 15% по давлению. Все описанные в этой главе манометры позволяют измерять давления чистых газов и суммарные давления их смесей. Для измерения парциальных давлений компонентов в смесях газов манометры непригодны. Для этих целей применяют специальные приборы, действие кото рых основано на спектральном [Л, 3-8] и масс-спектрометрическом л. 3-9, 3-10] методах. [c.42] Вернуться к основной статье