ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Получение резистивных углеродистых пленок из "Физико-химические основы производства радиоэлектронной аппаратуры " Исходным продуктом для получения углеродистой пиролитической пленки является один из низших углеводородов — метан, разлагающийся при высокой температуре с выделением углерода [14, 15]. [c.57] Реакция должна проходить в отсутствии окислительной среды — в вакууме или в нейтральном газе — иначе углерод окислится до СО и СО2. Примеси кислорода в нейтральном газе должны составлять не более тысячных долей процента [14]. [c.57] Если керамические основания, на которые наносят резистивный слой, нагреты выше температуры омывающих их газов, то углерод при пиролизе предпочтительно осаждается и кристаллизуется на поверхности оснований. Образуется кристаллическая структура пленки, представляющая собой совокупность графитоподобных кристаллитов, разделенных межкристаллитными прослойками. Удельное электрическое сопротивление такой пленки отличается от монокристалла графита, в 100 раз превышая его. [c.57] Лучше вести пиролиз при более высокой температуре (1000° С), так как при этом устраняются осевшие на кристаллитные грани паразитные атомы водорода, сильно искажающие структуру пленки и вызывающие неустойчивость ее параметров. [c.57] Рассмотренная пиролитическая пленка углерода используется в сопротивлениях типа ВС, имеющих температурный коэффициент ТКС=—300-10 град . Введение в состав пленки 4% бора позволяет в три раза повысить температурную стабильность сопротивления. [c.57] Вернуться к основной статье