ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Вакуумные условия в пролетном пространстве из "Физико-химические основы производства радиоэлектронной аппаратуры " Величина вакуума 10 мм. рт. ст., достаточная для создания благоприятных условий в зоне испарения, недостаточна, как будет показано, для обеспечения свободного пролета атомов испаряемого вещества от испарителя на конденсирующую подложку (см. рис. 15). [c.42] Определим вакуумные условия в пролетном пространстве. Для этого вначале сравним концентрацию атомов испаряемого вещества в молекулярном потоке с концентрацией атомов остаточного газа в зоне пролетного пространства. [c.43] Материал и температура плавления Давление насыщенных паров , мм рт- ст. [c.43] Если все атомы испаряемого материала конденсируются на подложке, то количество испаренного материала в объеме сферы, ограничивающей пространство вокруг испарителя с радиусом, равным пролетному расстоянию, будет определяться количеством вещества, испаренным за время пролета расстояния от испарителя до подложки. [c.44] Таким образом, при р=10 мм рт. ст. концентрация молекул остаточного газа в 50 раз превышает концентрацию атомов испаряемого вещества, при р=10 мм рт. ст. — в 5 раз. [c.45] Значительное превышение концентрации молекул остаточного газа опасно с точки зрения возможного химического взаимодействия с испаряемым веществом. Только при давлении меньше чем р=10 мм рт. ст., число молекул пара начинает превышать число молекул остаточного газа. [c.45] При р=10 мм рт. ст., когда молекул пара в 20 раз больше молекул остаточного газа, последними можно пренебречь. [c.45] Теперь рассмотрим условия в пролетном пространстве с точки зрения длины свободного пролета. [c.45] Как было отмечено, длина свободного пролета должна в несколько раз превышать длину пролетного пространства. [c.45] Обычно в установках для вакуумного испарения пролетное пространство составляет 10—20 см, значит длина свободного пролета должна быть порядка 1 м и больше. [c.45] Следовательно, нижний предел вакуума в рабочем пространстве, найденный из условия прямолинейности пролета, определяется остаточным давлением 10 — 10 мм рт. ст. [c.45] Вернуться к основной статье