ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Гальванопластика (Б. Я Казначей) из "Гальванотехника справочник " Химичеокое травление рельефа покрьггия или вытравление контура деталей при химическом фрезеровании наиболее распространено. Травители для различных материалов приведены в табл. 16.12. [c.548] Причиной ухудшения точности элементов при травлении является боковое подтравливание материала под защитной маской. Оно характеризуется анизотропией травления А = /б, где й — толщина протравленного материала б — боковой подтрав. [c.548] Обычно А = 0,5-г-1,0 12]. Это явление при получении точных элементов рисунка травлением толстых покрытий и заготовок следует учитывать при изготовлении фотошаблонов, сеток, матриц. Величина бокового подтравливания зависит от состава применяемого травителя и от метода травления. Различают травление погружением и струйное. Наиболее простой метод травления — погружение — не обладает высокой производительностью, реализуется в обычных ваннах. Для возбуждения жидкости применяют барботирование травителя воздухом. [c.548] Травление разбрызгиванием обеспечивает минимальное под-травливание и высокую равномерность скорости травления по поверхности заготовки. [c.551] Травление распылением обеспечивает наиболее высокую производительность, позволяет автоматизировать процесс, но создает наибольший боковой подтрав за счет повышенной скорости окисления металла и большой силы удара травителя о его поверхность, разрушающей даже минимальный вязкий слой у торцов покрытий. [c.551] Электрохимическим окислением неващищенных маской участков поверхности материала покрытия или основного металла также можно формировать рельефные покрытия. Этот процесс широко применяется при изготовлении тонкопленочных конденсаторов гибридных интегральных схем, формировании межслойной диэлектрической изолирующей пленки, изготовлении шкал, сеток, лимбов на непрозрачном основании. [c.551] Гальваническое осаждение металла на пробельные места применяется в производстве различных сеток абсолютного контраста, интегральных схем, кодовых дисков, печатных плат и др. [c.551] Характерной особенностью формирования рельефных покрытий в гальванических процессах является боковое разращивание элементов, величина которого А = (Лд — Лм) при Лц йм- Формирование рельефа защитной маски должно обеспечивать воспроизводимые профили масок по возможности с минимальным клином. [c.551] Для получения элементов покрытий электрохимическим оксидированием с гальваническим осаждением применяются обычные электролиты. [c.551] Электрохимические процессы предъявляют специфические требования к защитным маскам, которые должны выдерживать воздействие химических сред электролитов и электрического тока, не иметь точечных дефектов, сквозь которые может проникать электролит, обладать высокой адгезией к материалу заготовки. Эти требования вынуждают использовать максимально толстые пленки краски или фоторезистов. [c.551] Вакуумно-плазменные методы травления [16.5] широко применяются в производстве интегральных схем, так как позволяют получить элементы шириной 0,3—0,7 мкм с минимальным искажением формы и размеров. По физико-механическому механизму воздействия на материал они разделяются на ионное травление, ионно-химическое травление и плазменное травление. Характеристики этих методов приведены в табл. 16.13. Составы рабочих газов и особенности вакуумно-плазменного травления различных материалов приведены в табл. 16.14. [c.551] Па травления. травления деталей. [c.553] Гальванопластика — техника получения точных металлических копий п ггем электроосаждення металла на формы, которые по окончании процесса отделяются от осадка [17.1—17.3]. Используется в самых разнообразных отраслях промышленности, медицине, искусстве и научно-исследовательской работе для получения изделий и инструмента, а также для их воспроизведения и размножения. [c.555] В современной технике гальванопластически изготовляют изделия или инструмент, которые неэкономично, неэффективно или невозможно получить каким-либо иным способом. [c.555] Гальванопластическое изготовление изделий — электроформование, помимо экономии металла и облегчения конструкции, дает возможность придавать изделиям новые физико-механические свойства, что позволяет успешно решать разнообразные конструктивные проблемы и внедрять технологию гальванопластики в такие отрасли промышленности, как авиация, космонавтика, ракетостроение, микроэлектроника и т. д. [c.555] Часто гальванопластика позволяет создавать безотходные технологические процессы. [c.555] Технология гальванопластики в значительной степени используется для металлизации непроводников и особенно пластмасс 17.4]. [c.555] Вернуться к основной статье