ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Формирование внеосевых сегментов волновых фронтов вращения из "Методы компьютерной оптики Изд2 " Выражение (8.127) позволяет проанализировать зависимость ё от Л, угла наклона сегмента а н относительного отверстия сегмента 4 А/Е,1 при фокусировке. Кроме того, (8.127) дает зависимость ё от чиста ступенек шжрорельефа М и разрешения в плоскости компенсатора 5 (см. таблицы 8.6 и 8.7, рис. 8.11). [c.564] Из табл. 8.6 видно, что для формирования сегмента с а = 30°, 4А/Д.1 = 0,2 при Л = 0,63 мкм с точностью Л/15 нужно обеспечить разрешение фотошаблона 5 2,5 мкм при М — 8. При больших 6 величина ё практически не зависит от М, в то время как для получения высококачественных сегментов с ё Л/20-Л/40, выбор М уже суш,ественен (см. табл. 8.6). Из табл. 8.7 и рис. 8.11 видно, что с увеличением а добиться высокой точности форьшрования сегмента все сложнее. [c.564] Вернуться к основной статье