ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Предисловие к русскому изданию из "Электронная и ионная оптика " предлагаемая вниманию советского читателя, написана профессором Аризонского университета Миклошем Силадьи и представляет собой один из трех томов серии Микроприборы. Физика и технология изготовления , выпускаемой издательством Плинум Пресс , США. Она посвящена важному направлению физической электроники — электронной и ионной оптике, основу которой составляют процессы формирования и движения пучковых заряженных частиц в электрических и магнитных полях. Автор является одним из ведущих в мире специалистов в этой области. Особенно большой известностью пользуются его научные труды по разработке методов автоматизированного проектирования, синтеза и оптимизации фокусирующих устройств электронной и ионной оптики. [c.5] Бурное развитие электронной и ионной оптики начиная с 20-х годов нашего столетия во многом объясняется потребностями новых направлений науки и техники, таких, как ядерная физика, физика высоких энергий, СВЧ-радиоэлектроника, элементный и структурный анализ материалов. В результате были созданы принципиально новые приборы, позволившие получить уникальные сведения об окружающем нас мире как фундаментального, так и прикладного характера. В настоящее время электронная и ионная оптика не утратила своей актуальности и продолжает развиваться. Большое стимулирующее влияние при этом оказывают новые ее приложения в микроэлектронике, диагностике материалов, обработке поверхностей. Достаточно сказать, что решение одной из важнейших задач современной микроэлектронной технологии — освоение субмикронно-го диапазона — трудно представить без диагностического и технологического оборудования на основе электронных и ионных зондов. [c.5] Существенный вклад в оптику пучков заряженных частиц внесли отечественные исследователи, что отмечено автором книги, который хорошо знаком с трудами советских ученых. К сожалению, основные наиболее обширные по охвату монографии, посвященные этому предмету (читатель найдет соответствующие ссылки в библиографическом списке), были изданы у нас в стране достаточно давно, в 40-е — 60-е годы. [c.5] Быстрый прогресс в области электронной и ионной оптики, связанный прежде всего с развитием плодотворных компьютерных методов расчета, расширением технических возможностей, а также потребности в подготовке квалифицированных специалистов диктуют необходимость издания новых учебных пособий. Книга М. Силадьи является хорошим примером современного введения в предмет. Она начинается с уравнений Максвелла, вариационных принципов классической механики, вывода уравнений движения заряженных частиц, далее подробно рассматриваются различные вопросы функционирования фокусирующих, отклоняющих, формирующих электронных и ионных оптических устройств. Особое внимание уделено методам расчета электрических и магнитных полей, теории аберраций, компьютерным методам расчета и оптимизации параметров линз. Следует отметить, что вопросы применения анализируемых устройств автором не рассматриваются. Это вполне оправданно, так как при необходимости можно обратиться к имеющейся специальной литературе. Книга содержит богатую библиографию, насчитывающую более 400 наименований. В целом ее отличает удачное сочетание подробного изложения физических основ предмета, практических методов и новейших результатов. [c.6] Книгу проф. М. Силадьи можно рекомендовать как учебное пособие студентам старших курсов, инженерам, научным сотрудникам, желающим понять основы электронной и ионной оптики и применять их на практике. [c.6] Электронная и ионная оптика базируется на аналогии между световой геометрической оптикой и движением заряженных частиц в электромагнитных полях. Впечатляющее развитие электронной микроскопии со всей ясностью демонстрирует возможность формирования изображения заряженными частицами, длина волны которых гораздо меньше, чем у видимого света. [c.7] С развитием новых приложений, таких, как ускорители элементарных частиц, электронно-лучевые трубки, анализаторы заряженных частиц, микроволновая техника, сканирующие аналитические приборы, технологии мощных пучков и т.д., предмет оптики пучков заряженных частиц был расширен и включает в себя формирование прецизионных зондов. Основной задачей здесь является концентрация как можно большего числа частиц в как можно меньшем объеме. [c.7] Технология интегральных микросхем является хорошим примером возрастающей важности этой области знаний. Основной тенденцией современной микроэлектроники является повышение уровня интеграции и усложнение топологии микросхем. Наличие дифракционных ограничений в оптическом диапазоне и технологические проблемы использования рентгеновских лучей склоняют выбор в пользу технологий на основе пучков заряженных частиц. С их помощью возможно прямое формирование рисунка на подложке с управлением от компьютера без использования фотошаблонов. Особенно большие возможности сфокусированные ионные пучки открывают в субмикронной области. Поэтому технологии на основе электронных и ионных пучков с наибольшей вероятностью будут играть очень важную роль в ближайшие двадцать лет или около того. [c.7] НО современным компьютерным методам. Книга может служить учебником для инженеров, научных сотрудников, студентов старших курсов, желающих понять основные принципы электронной и ионной оптики и применять их при конструировании и/или работе с приборами и оборудованием такого типа. [c.8] Автор вполне сознает всю трудность достижения поставленной цели. В одном томе едва ли можно охватить даже основные теоретические принципы и наиболее важные применения. Поэтому рассмотрение ограничено главными вопросами и последними результатами исследований, включая принадлежащие автору. На протяжении всей книги особое внимание уделяется связи излагаемого материала с практическими применениями, однако мы не пытались рассматривать сами применения. Библиография насчитывает более 400 основных наименований, включая публикации, содержащие последние достижения в этой области. Вследствие ограниченности объема книги список литературы весьма далек от полного. [c.8] Для изучения книги не требуется предварительного знакомства с физической электроникой. Необходимая вводная информация дана в гл. 1. Теоретический материал выводится из основополагающих принципов. Однако существенная роль математического аппарата в рассматриваемом предмете предполагает хорошее знание читателем техники вычислений (включая векторный анализ). [c.8] Вернуться к основной статье