ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Покрытия из тугоплавких металлов из "Тугоплавкие покрытия Издание 2 " Не останавливаясь на конструкциях установок для газофазного осаждения [11, 398, 399], перейдем к рассмотрению конкретных примеров осаждения газофазных покрытий, выбрав в качестве объектов покрытия из тугоплавких металлов и соединений. [c.361] Наиболее полно изучены процессы газофазного осаждения молибдена и вольфрама и в меньшей степени других тугоплавких металлов. Достаточно полный перечень и анализ (в основном, зарубежных) работ, посвященных осаждению тугоплавких металлов, дан в монографии [11]. Среди отечественных работ необходимо прежде всего отметить [19, с. 59, 219 22, с. 295, 302, 323 400— 407], в которых изучены некоторые теоретические вопросы формирования покрытий и влияние условий осаждения на их структуру и свойства. [c.361] Основное назначение покрытий из тугоплавких металлов — защита основы от износа, эрозии, коррозии в жидких и газообразных средах, придание поверхности основы нужных электрофизических, в частности эмиссионных, свойств. В качестве типичных примеров использования газофазных вольфрамовых покрытий можно привести их применение для защиты графитовых сопел ракет и получения эмиттеров [И]. [c.361] Методом газофазного осаждения можно получать различные сплавы тугоплавких металлов, а также керметные композиции на их основе. [c.362] В литературе [408] исследован процесс совместного водородного восстановления хлоридов тугоплавких металлов для получения сплавов Мо— У, Мо—N5, V/— . Было установлено, что решающее влияние на состав сплавов оказывает соотношение парциальных давлений хлоридов металлов, а от температуры подложки при заданных парциальных давлениях хлоридов состав сплавов почти не зависит. Сплавы имели плотность, близкую к теоретической, были довольно пластичны с ярко выраженной столбчатой структурой (как при осаждении чистых металлов). Подбором режимов осаждения могут быть получены сплавы различной концентрации с совершенными аксиальными структурами. Изменяя состав сплава и текстуру покрытий, можно в широких пределах менять их эмиссионные свойства, что трудно осуществимо для чистых тугоплавких металлов. [c.362] Осаждение тугоплавких металлов и сплавов из газовой фазы используют не только для получения покрытий разнообразного назначения, но и для изготовления деталей довольно сложной формы (в этом случае подложку, на которую осаждается материал, после окончания процесса удаляют). [c.362] Вернуться к основной статье