ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Аморфные диэлектрики из "Физика твердого тела " Аморфные диэлектрики в виде тонких пленок находят широкое применение в микроэлектронике. Во многих таких диэлектриках,, так же как и в аморфных полупроводниках, проводимость (весьма незначительная ) осуществляется путем перескоков из одного локализованного состояния в другое. Энергия активации этого процесса значительно ниже, чем энергия активации примесной проводимости в кристаллических диэлектриках. [c.371] Поскольку аморфные диэлектрики имеют более низкую плотность, чем соответствующие кристаллы, их диэлектрическая проницаемость несколько понижен по сравнению с кристаллическими аналогами. [c.371] Диэлектрические потери аморфных диэлектриков существенно зависят от ширины щели подвижности. Если ширина щели невелика, то потери обусловлены, в основном, прыжковой проводимостью. [c.372] Вернуться к основной статье