ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Определение адгезии путем одновременного нормального отрыва всей пленки из "Адгезия пленок и покрытий " В ходе последовательного нарушения адгезионного контакта происходит постепенное движение границы отрыва адгезива от субстрата и неодновременный отрыв пленки (рис. П,2). В результате последовательного нарушения контакта происходит отслаивание пленки или расщепление ее. Именно такие названия носят эти методы (см. табл. П,1). [c.66] Методы одновременного отрыва приемлемы для определения адгезионной прочности небольших до площади поверхностей. При использовании метода последовательного отрыва пленка должна иметь относительно большую площадь, причем отрыв, как правило, должен происходить в направлении большего размера пленки, т. е. длина отрываемой пленки долнша превосходить ее ширину. [c.66] Для определения адгезионной прочности пленок, прилипших к субстрату одной стороной, большое значение имеет метод, основанный на использовании одного цилиндра. Одностороннему отрыву пленок будет уделено основное внимание (см. рис. П,1а, в, г и д). Реализацию одностороннего нормального отрыва пленки можно осуществить ири помощи вспомогательного цилиндра. Если нижний цилиндр (см. рис. 11,16) выполняет роль субстрата, то в этом случае верхний цилиндр будет вспомогательный. Вспомогательный цилиндр приклеивают к пленке. Под действием внешней силы происходит отрыв верхнего вспомогательного цилиндра вместе с пленкой. Такой способ отрыва может быть осуществлен в том случае, когда адгезионная прочность пленки к субстрату меньше, чем к вспомогательному цилиндру. Подобный метод применяли для определения адгезионной прочности пленок толщиной 2,5—3,0 мкм к поверхностям кремния и германия, обработанным по 14-му классу чистоты [50]. [c.67] Формула (11,1) справедлива в том случае, когда под действием центробежной силы пленка разрывается на отдельные части, которые удаляются с поверхности субстрата. С помощью этой формулы можно определить адгезионную прочность пленок, которые наносят в виде сплошного кольца на цилиндр или шар. Адгезионная прочность в этих условиях выражается в Па. [c.68] Таким образом, при определении адгезионной прочности методом центрифугирования измерение ее проводят в Па, Н/м или Н. В зависимости от ус.ловий отрыва пленки адгезионную прочность можно рассчитывать при помощи формул (11,1), (11,2) или (11,3). [c.68] Кроме нижней границы величины внешнего воздействия существует и верхняя граница этого воздействия, выше которой в данном приборе отрыв пленки реализовать невозможно. [c.68] В целом определение адгезионной прочности при помощи центрифугирования является довольно трудоемким процессом. Внешнее воздействие зависит от размеров отрываемой пленки, которые могут колебаться в значительных пределах. Это обстоятельство затрудняет обработку экспериментальных данных и приводит к большим разбросам значений адгезионной прочности. Поэтому центрифугирование при определении адгезионной прочности применяют сравнительно редко и главным образом в исследовательских целях. [c.69] Вибрационный метод имеет один существенный недостаток. Образцы, представляющие собой адгезив и субстрат, совершают ко-.лебательные движения. При движении вниз (см. рис. II. 1г) на прилипшую пленку будет действовать отрывающая сила за счет вибрации образца. Но при движении вверх эта сила становится прижимающей. Наличие прижимающей силы и чередование отрыва с прижатием может исказить истинное значение адгезионной прочности уже в процессе отрыва, что скажется на точности и воспроизводимости полученных результатов. Кроме того, вибрационный метод отрыва можно использовать для жестких образцов при условии, что когезия пленки значительно больше адгезии. [c.69] Вернуться к основной статье