ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Импульсная интерференционная термометрия из "Лазерная термометрия твердых тел " Если оптико-электронная система позволяет регистрировать импульсное изменение коэффициента отражения на 10 то соответствующее этому изменение температуры 5в = в,К/в,в ) 5К в максимуме чувствительности для кремния толщиной 1 мм составляет 69 8 10 К (А = 1,15 мкм), а для фосфида галлия 69 Ь 10 К (А = 633 нм). [c.172] Для достижения максимальной чувствительности необходимо задать рабочую точку в области максимальной крутизны резонансной кривой К р), показанной на рис. 2.2. В этой точке пластинка должна находиться перед началом теплового импульса. Чтобы задать рабочую точку с погрешностью, не превышающей тг/30 рад, необходимо зафиксировать толщину кристалла с погрешностью 2,7 нм и температуру в помещении с погрешностью 0,1 °С. Такие жесткие допуски практически нельзя реализовать. Например, толщина серийно выпускаемых пластин из монокристаллического кремния обычно имеет допуски 20 мкм относительно среднего значения, лежащего в диапазоне 0,5-ь0,7 мм (толщина увеличивается с увеличением диаметра пластины). Температура в нетермостатируемой лаборатории может изменяться в течение дня на несколько градусов. [c.172] Поэтому перед каждым экспериментом необходимо выйти в рабочую точку на резонансной кривой. С этой целью надо провести экспрессное сканирование по фазе в интервале 1,5тг рад (при этом участок резонансной кривой обязательно содержит и минимум, и максимум коэффициента отражения). Определив Дтах и Етш, можно установить такую начальную фазу (р, чтобы коэффициент отражения соответствовал значению максимальной чувствительности. Имеется несколько способов задавать рабочую точку а) пространственное сканирование в направлении, совпадающем с направлением градиента толщины кристалла б) изменение угла падения света на поверхность на 2-ьЗ° в) изменение температуры кристалла на 1,5-Ь2 К г) изменение длины волны зондирования на 0,3 нм. [c.172] Вернуться к основной статье