ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Эталон Фабри-Перо с неидеальными зеркалами из "Лазерная термометрия твердых тел " Основными причинами для снижения контраста интерференции в пластинке при комнатной температуре являются непараллельность поверхностей пластинки и шероховатость поверхности. Непараллельность dh/dx серийно выпусрсаемых полупроводниковых кристаллов (Si, aAs, СаР и т.д.) характеризуется углами, лежащими в диапазоне 10 -ЬЗ 10 рад. Для большинства полупроводниковых монокристаллов, серийно выпускаемых для микротехнологии интегральных микросхем, типична шероховатость тыльной поверхности (т.е. противоположной той, на которой создаются элементы схем). [c.147] В табл. 6.1 приведены значения среднего контраста и среднеквадратичного отклонения от среднего для исследованных образцов. Каждое значение получено усреднением по 30 экспериментальным точкам. [c.149] Возможность регистрации интерферограмм с ненулевым контрастом при зондировании кристаллов с шероховатой тыльной поверхностью в ряде работ априорно отрицалась. Мнение основывалось, вероятно, на том, что параметры шероховатости (высоты, углы наклона, расстояния между пиками) предполагались случайно распределенными, как в случае шероховатости поликристаллических или аморфных материалов. В таком случае коэффициент зеркального отражения от поверхности с высотой микрорельефа, сравнимой с длиной волны, пренебрежимо мал. Однако вследствие высокой упорядоченности элементов микрорельефа регистрируется достаточно высокий коэффициент (0,054-0,15) зеркального отражения от шероховатой поверхности монокристаллического кремния. Полная компенсация интерференционных максимумов и минимумов не происходит даже в том случае, когда в сечении лазерного пучка содержится несколько сот плоских микрограней приблизительно квадратной формы, находяш ихся от базовой плоскости на разных расстояниях (от О до 14-2 мкм). [c.151] Это означает, что по диаметру пучка укладывается более одного по-лупериода интерференции, что и сопровождается уменьшением контраста. Для лазерного пучка диаметром 2 мм и пластинки толш,иной 1 мм условие (6.11) выполняется при дв/дх 7 К/см для кремния и при дв/дх 270 К/см для стекла. Столь сильное отличие значимых градиентов температуры обусловлено тем, что величины дп/дв для полупроводников и диэлектриков отличаются почти на два порядка. Влияние поперечного градиента температуры на контраст интерферограммы является пренебрежимо малым при выполнении условия АОк [дп/дв)[дв/дх) С 1. [c.152] Вернуться к основной статье