ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Лазерная интерференционная термометрия полупроводников и диэлектриков из "Лазерная термометрия твердых тел " В данной главе описан самый чувствительный метод измерения температуры прозрачных плоскопараллельных пластин. В настоящее время метод лазерной интерференционной термометрии (ЛИТ) применяется наиболее часто (по сравнению с любыми другими методами) для изучения процессов при взаимодействии плазмы с поверхностью, а также для контроля температуры полупроводниковых и диэлектрических подложек в микротехнологии. Метод ЛИТ объединяет качества, на первый взгляд кажущиеся взаимно исключающими очень высокую температурную чувствительность и широкий диапазон измеряемых температур. [c.131] Предложенный еще в 60-е годы для термометрии стеклянных пластин при напылении пленок в вакууме [6.1], метод не использовался в течение 20 лет, и лишь с 1990 г. началось его широкое распространение, отраженное впоследствии в ряде обзоров [6.2-6.5]. На этот раз метод ЛИТ был практически заново разработан несколькими исследовательскими групами применительно к термометрии полупроводниковых кристаллов Si и GaAs, непрозрачных в видимом диапазоне спектра 6.6-6.S]. [c.131] Вернуться к основной статье