ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Спектральная термометрия из "Лазерная термометрия твердых тел " Измерение температуры полупроводниковой пластинки путем регистрации спектров отражения или пропускания света удобнее всего проводить в области края собственного поглощения. Для слаболегированных кристаллов наиболее существенные температурные изменения в регистрируемых спектрах происходят именно в этой области. Зарегистрировав спектр Т[ ) или Я(Л), можно рассчитать коэффициент поглощения (Л) и определить ширину запрещенной зоны кристалла, связанную с температурой известным образом. Оптическая схема включает перестраиваемый по спектру источник излучения (например, лазер на красителях или нелазерный источник сплошного спектра и монохроматор). [c.114] С точки зрения спектрального эксперимента удобнее вариант с регистрацией проходящего света, при этом опорный сигнал Т[ ) = 1 легко получить в отсутствие пластинки, а оптическая схема практически нечувствительна к термодеформациям образца. Однако в экспериментальных установках оптический контакт с образцом возможен обычно только с одной стороны, поэтому чаще регистрируют отраженное излучение. Для определения R X) необходимо перед каждым экспериментом либо измерять интенсивность /о(А) пучка, падающего на образец, либо использовать эталонный отражатель с известным спектром отражения. Возможен и более простой путь в качестве эталонного отражателя можно использовать исследуемый образец при известной температуре (например, начальной, поскольку эксперимент начинается обычно с известной температуры). [c.114] На рисунках 5.5, 5.6 показана эволюция спектров пропускания и отражения при изменении температуры кристалла кремния от 20 до 400 °С. Край пропускания (и отражения) света кристаллом смещается в сторону длинных волн, причем скорость движения Т/ в для точки 71пах/2 или (Ятах + увеличивается С температурой. [c.114] Более простой подход связан с определением длины волны, соответствующей определенному уровню пропускания или отражения, например, значениям Т ах/З или (Дтах + Лтт)/2. В ЭТОМ случае нахождение температуры можно проводить по калибровочному графику Ло,5( ), где Ло,5 — длина волны, соответствующая половинному пропусканию или отражению. [c.115] Форма регистрируемого сигнала в спектральной термометрии является, как правило, однозначно идентифицируемой. [c.116] Вернуться к основной статье