ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Нелинейно-оптическая термометрия из "Лазерная термометрия твердых тел " Нелинейные оптические эффекты при взаимодействии излучения с веществом связаны с тем, что под действием мощной электромагнитной волны в веществе создаются наведенные ангармонические осцилляторы, при этом возникают новые спектральные компоненты с кратными или комбинационными частотами [4.40]. Известны нелинейное (многофотонное) поглощение света, нелинейное отражение и ряд других явлений. Для нелинейно-оптических методов диагностики твердого тела типично высокое быстродействие характерные длительности импульсов при возбуждении нелинейного отклика лежат в фемто- и пикосекундном диапазонах. Из-за сложности и больших размеров установок для наблюдения нелинейных эффектов эта область оптики пока мало применяется для термометрии твердого тела. [c.106] Метод спектроскопии когерентного антистоксова рассеяния света (КАРС) применялся для термометрии при абляции полимера (полиметилметакрилата, ПММА) под действием лазерного импульса (Л = = 1,064 мкм) длительностью 150 пс [4.43]. Для получения расеянного света использовались два импульсных (г 50 пс) лазера на красителях, перестраиваемые по длине волны генерации. Рассеянное излучение анализировалось с помощью спектрометра и детектировалось фотодиодной матрицей. [c.107] Перспективы широкого применения нелинейно-оптической термометрии в исследованиях и технологическом контроле зависят главным образом от возможностей создания компактных установок, у которых автоматизированы не только регистрация и обработка сигнала, но и юстировка оптической схемы. [c.108] Методы лазерной термометрии поверхности можно применять в широком диапазоне температур, практически совпадаюш,ем с диапазоном суш,ествования твердой фазы. Методы, основанные на отражении света, активно используются для термометрии поверхности металлов и полупроводников. По отражению света проводится микротермография элементов интегральных схем (транзисторов, металлических соединений) с пространственным разрешением порядка длины волны зондируюш,его света и временным разрешением порядка наносекунды. Метод отражательной термометрии ближнего поля позволяет улучшить пространственное разрешение примерно на порядок. Для получения надежных результатов необходимо перед проведением измерений температуры выполнить дополнительные исследования по построению калибровочных кривых, т. е. температурных зависимостей регистрируемого сигнала. [c.108] Основная проблема, возникаюш,ая при лазерной термометрии поверхности, связана с изменением во времени оптических свойств поверхности под действием нетемпературных факторов. Коэффициент отражения, эллипсометрические параметры, интенсивность второй гармоники изменяются не только из-за нагревания поверхности, но и из-за изменения микрорельефа поверхности при травлении или распылении поверхности, рекристаллизации пленки и т. д. Учет этих изменений требует дополнительной диагностики, что усложняет решение задачи термометрии. [c.108] Вернуться к основной статье