ПОИСК Статьи Чертежи Таблицы Принципы методов и их особенности из "Металловедение и термическая обработка стали Т1 " ДПМ — десорбция поверхностных молекул СХИ — спектроскопия характеристического излучения СПП — спектроскопия пороговых потенциалов [1, с. 60—101]. [c.152] Если энергия первичных электронов такова, что длина их волны соизмерима с периодом поверхностной решетки , то упруго отраженные электроны дадут дифракционную картину. Следовательно, надо зарегистрировать их пространственное- распределение. Это — метод ДМЭ, поскольку речь идет о медленных электронах с энергией 20—200 эВ. Аппаратура для получения дифракционных пятен несложна, чего нельзя сказать об анализе дифракционной картины и возможностях однозначной трактовки структуры поверхности. Возможности эти значительно улучшаются, если одновременно с пространственным распределением измеряется число отраженных частиц в каждом пятне как функция энергии первичных электронов, что однако усложняет эксперимент. [c.152] Кинетическая энергия Оже-электрона определяется разницей двух энергий энергии внутренней оболочки, с которой был выбит электрон, и энергии уровня, с которого вылетел Оже-электрон. Таким образом, Оже-электро-ны являются характеристическими их энергии характерны для данного элемента. Анализ энергий Оже-злектронов, как и анализ характеристического рентгеновского излучения, позволяет определить элементный состав исследуемых образцов. [c.152] В методе ОЭС используется пучок электронов с энергиями, достаточными для возбуждения внутренних уровней изучаемых атомов, но не слишком большими. С ростом энергии первичного пучка, во-первых, растет вероятность испускания рентгеновского фотона (для энергий 2 кэВ доля Оже-электронов 90%) во-вторых, ухудшается разрешение по глубине (увеличивается зона возбуждения). Поэтому обычно энергия падающих электронов находится в интервале 0,1—3 кэВ. [c.152] В 1968 г. Харрис предложил с помощью сравнительно простых электронных устройств дифференцировать кривые N E) по энергии (рис. 7.4). Это резко увеличило чувствительность метода и позволило выделить в спектре сигнал адсорбированных частиц, количество которых составляет около 1 % моноатомного слоя. На рис. 7.5 показан Оже-спектр очищенной поверхности олова. Кроме линий олова, обнаружены остаточные загрязнения углеродом, хлором и кислородом. [c.152] ИКП — инфракрасное поглощение КРС — комбинационное рассеяние света ЭМ — эллип-сометрия (так же, как и КРС, видимого света) РФС — рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия ФД — фотодесорбция. Отметим, что фотоны минимально возмущают поверхность и не заряжают ее. Основные трудности связаны с получением интенсивных пучков в нужном спектральном интервале здесь оказались полезны лазеры — монохроматические источники большой интенсивности. Кроме того, как правило, малы сечения реакций взаимодействия фотонов с поверхностью, однако совершенствование измерительной аппаратуры позволяет добиваться достаточной чувствительности. [c.153] СИР — спектрометрия ионного рассеяния ИНС — ионно-нейтрализационная спектроскопия ИМАР — ионный микрозонд с анализом рентгеновских лучей ПИР — рентгеновское излучение, создаваемое протонами. Ионные пучки вызывают наибольшие изменения в поверхностном слое [1, с. 60—101] это — разрушающий метод контроля. [c.154] Разрешение метода МСВИ по поверхности меняется в широких пределах в зависимости от конструкции ионной пушки и составляет от 10 мм до 10 мкм . [c.155] Вернуться к основной статье